h2 scoat nano Sコート.nano

『Sコート.nano』の特徴

『Sコート.nano』はフォトマスク(クロム)専用に開発された表面保護コートです。
防汚性、撥水性に優れ、コンタクト露光方式に大きな効果を発揮します。

仕様・特性

項目仕様備考
膜質フッ素系樹脂
膜厚10~20nm
膜硬度鉛筆硬度5H以上JIS K 5600-5-4
鉛筆硬度計
透過率99%以上/365nm (基板との相対比較)分光光度計
密着性基板目 10/10(1mm幅) 剥がれ無しテープ剥離
撥水性接触100°以上接触角計
耐溶剤性
エタノール
IPA
MEK
アセトン
1kg/㎠
ラビングテスト
耐薬品性耐アルカリ:5%KOH水溶液 変化無しスポットテスト1時間
耐酸 : H2SO4O (濃度96%) 変化無し液浸80℃60秒

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