h2 mashinery CAD/CAM~マスク描画装置

CAD/CAM装置

CAD/CAM
保有数20台以上
媒体E-Mail / FTP / CD / 他
主な受け入れファイル形式Dwg / Dxf / Gds / Gbr274x・d /ODB++ / 図面 / 他

マスク描画装置

Large SizeSmall~Middle
光源KrIon 413nmLD 405nmLD 405nm
描画ピッチ0.1 um0.5 / 0.25 / 0.125 um0.25 / 0.125 / 0.05 um
感材サイズ~1400×1850mm~2100×1300mm~711.2×812.8mm
感材厚さ~12mm~8.0mm~8.0mm

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